可将DUV光刻机卖给中国?网友:没什么用

2020-10-25 17:59:38来源:今日头条编辑:时寒峰

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  原标题:可将DUV光刻机卖给中国?网友:没什么用
 
  引言
 
  正当国内网友为华为先进芯片不能再生产而焦急时,有消息传来,光刻机巨头ASML表态可将DUV光刻机卖给中国。这对于急需发展高端制造的我们来说,确实是个好消息,但亦有网友表示,DUV光刻机没什么用,因为我们当前最需要的是要能生产 芯片的光刻机EUV。

  DUV与EUV的区别
 
  要了解DUV和EUV,首先是要了解一个光学的名词“线宽”,专业来说就是Mask Pattern投影到Wafer上的Overlay线宽度。它是光刻机镜头成像分辨率的一个指标,要实现能制造更高端的芯片,就得提升线宽,简单来说,线宽其实就是指芯片制造工艺的制程,比如5nm工艺制程的麒麟9000,就是指其用的线宽是5nm。而DUV是指深紫外光,其波长是193/157nm,EUV则是极紫外光,其波长为5-30nm,而使用更短的波长,其制造工艺则更高端。
 
  国内光刻机制造情况
 
  在国内光刻机制造方面,目前有能力生产90nm光刻机的是上海微电子 ,最新消息显示,到2021年,上海微电子将能生产28nm的光刻机,虽然距离国际先进的5nm光刻机还有一定差距,但这一差距正在缩小,而有信息显示,上海微电子生产的光刻机,占据着国内80%的市场份额,可见上海微电子在国内高端制造技术的地位。光刻机作为当前最高端制造技术的机子,其涉及的技术与零部件并不是一个国家能全做得到的,它其实是人类科技的集大成者,所需的技术或零部件,需世界各国的相关公司共同协作攻关,才能真正造得出来。
 
  结语
 
  ASML允许向中国出口DUV光刻机,这其实是受到了我国市场的影响,有资料显示,我国的光刻机需求市场,在2019年占据了ASLM营收业绩的21%,而ASML在我国的21个城市均设有办事机构,这也可以看我国市场对于ASML的重要性,而ASML的决定,对于上海微电子来说并不是好事情,毕竟,我们国内最需要的是EUV光刻机,而对于DUV光刻机,我们自己都能造。

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