这款激活“芯”跳的小能手已经实现产业化

2019-12-03 20:12:01来源:鹿财经综合编辑:鹿鸣君

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  原标题:这款激活“芯”跳的小能手已经实现产业化
 
  又传来好消息!
 
  近日从北京烁科中科信电子装备有限公司
 
  (简称烁科中科信)了解到
 
  烁科中科信自主研发的离子注入机
 
  正在进入国内各大集成电路制造厂商
 
  为实现大批量应用打下坚实基础
 
  截至目前,烁科中科信已拥有中束流离子注入机、大束流离子注入机、高能离子注入机和定制离子注入机四种产品,构建了较为系统的集成电路离子注入机谱系,2019年公司销售各型离子注入机达11台。
 
  什么是离子注入机?
 
  主要应用于哪些方面呢?
 
  离子注入机
 
  离子注入机是将特定种类离子以指定参数(能量、流强、角度等)注入至特定材料中的一种设备。离子注入机是半导体尤其是集成电路的核心装备,执行的是核心的掺杂工艺。半导体要做成器件,要改变电性能,必须掺入杂质,离子注入机就是执行掺杂工艺的标准设备。
 
  “经过多年的技术积累,我们实现了离子注入机这一集成电路制造核心关键设备在28nm以上工艺领域的进口替代能力和自主可控,具备年产30台离子注入机的能力。”烁科中科信总经理舒勇东介绍说。
 
  研发的中束流离子注入机65-28nm工艺量产12英寸晶圆超过400万片,达到了国外同类型设备水平,产品已经批量进入市场。
 
  大束流离子注入机工艺覆盖至28nm,65-28nm工艺量产晶圆超过20万片,高能机预计2020年底进入客户端验证。
 
  定制离子注入机主要针对6英寸及以下市场,设备应用比较广泛,可根据客户具体需求定制。针对SiC市场,基于中束流离子注入机技术,推出SiC注入机并应用于客户端,适用晶圆尺寸为主流的4-6英寸。
 
  在研发过程中,研发团队攻克了光路、晶圆传输、剂量控制、通用软件系统等离子注入机共性关键技术。
 
  中束流离子注入机突破了高精度束流角度控制、小发射度长寿命离子源等关键技术。
 
  大束流离子注入机则进一步突破了低能大流强束流传输与控制、支持十余种离子的大流强长寿命离子源等关键技术。
 
  高能离子注入机在高能(MeV)离子加速、高电荷态离子源等关键技术上实现了突破。
 
  烁科中科信 总经理 舒勇东
 
  烁科中科信将围绕攻克核心关键技术持续发力,推进中束流和大束流离子注入机产业化,实现全系列离子注入机自主可控,同时,跟随先进工艺发展,开展适用于更先进工艺节点的离子注入机的研发工作,并不断开拓在三代半导体、材料制备、5G器件制备等新兴领域的应用。

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